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三坐標(biāo)測量儀是典型的機(jī)電一體化設(shè)備，它由機(jī)械系統(tǒng)和電子系統(tǒng)兩大部分組成。

機(jī)械系統(tǒng)：一般由三個正交的直線運動軸構(gòu)成。如圖9-1所示結(jié)構(gòu)中，X向?qū)к壪到y(tǒng)裝在工作臺上，移動橋架橫梁是Y向?qū)к壪到y(tǒng)，Z向?qū)к壪到y(tǒng)裝在中央滑架內(nèi)。三個方向軸上均裝有光柵尺用以度量各軸位移值。人工驅(qū)動的手輪及機(jī)動、數(shù)控驅(qū)動的電機(jī)一般都在各軸附近。用來觸測被檢測零件表面的測頭裝在Z軸端部。

電子系統(tǒng)：一般由光柵計數(shù)系統(tǒng)、測頭信號接口和計算機(jī)等組成，用于獲得被測坐標(biāo)點數(shù)據(jù)，并對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。

工作原理

三坐標(biāo)測量儀是基于坐標(biāo)測量的通用化數(shù)字測量設(shè)備。它首先將各被測幾何元素的測量轉(zhuǎn)化為對這些幾何元素上一些點集坐標(biāo)位置的測量，在測得這些點的坐標(biāo)位置后，再根據(jù)這些點的空間坐標(biāo)值，經(jīng)過數(shù)學(xué)運算求出其尺寸和形位誤差。從原理上說，它可以測量任何工件的任何幾何元素的任何參數(shù)。

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